1974年第一臺以德國斯派克等離子質譜儀作為激發光源的ICP發射光譜儀問世。1983年ICP質譜儀開始推出，并很快確立了基市場地位。ICP質譜具有靈敏感度、極少的干憂，使分析結果更為精確，由于ICP質譜的檢出限極低所以，所以儀器需要在潔凈室中動行，以免受環境污染的影響。

SPECTRO新推出SPECTRO MS型ICP質譜儀是現代科學技術的重大突破，是全新性能與優勢的展現，SPECTRO MS 是目前市場上從6Li到238U質量范圍全譜同時測量的ICP質譜儀，它使IPC質譜儀的能力從時序掃描測量跨躍到全譜同時測量的新階段，不僅提高了測量的精密度和準確度，同時也大大縮短了樣品的測量時間。

這種革命性技術的核心是雙聚焦Mattauch-Herzog扇形場質譜技術，與全新的同時俘獲全部離子檢測器的組合。SPECTRO MS所采用的檢器為“直接電荷檢測器（DCD）"，具有4800個通道同，時俘獲全部同位素。在同時檢測模式下所，需檢測的質不再像傳統的ICP質譜儀那樣順序測量花費時間，而是瞬間同獲取全部的質譜。每次測量的全質譜信息可保存，事后處理分析。

SPECTRO MS每個組件都經過優化設計和佳選擇具，有杰出的分析性能而且操作簡單。其便函于維護的整體設計，采用了可靠耐用的真空系統和冷卻系統，靈活的進樣系統，耐鹽分的接口，極為高效的離子透鏡和非常簡易的操作，SPECTRO MS具有許多仗勢。

MS是世界ICP - MS同時記錄測量從6Li到238U所有元素 - 結合優良的檢測限和測量時間短精度高。分析性能，極磊地減少了測量時間可，方便地連接各種附件和自動裝置，實現無人值守操作。SPECTRO MS大多數的分析應用要求可廣泛地應用于院校與工業研究機構、地質、礦產與金屬工業農業與食品、環境、石油、化學工業、核工業、醫學、生物與制藥、半導體等而下之領域。新應用技術，尤其是結合種分離技術的應用在不斷發展，而SPECTROMS是承擔這些任務的選擇。

德國斯派克等離子質譜儀