X射線熒光光譜儀是一種快速的、非破壞式的物質測量方法，是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線。這種現象被廣泛用于元素分析和化學分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調查和研究，地球化學，法醫學，考古學和藝術品。

　　X射線熒光光譜儀主要是由激發源和探測系統構成。它是一種分析技術儀器，它使用X射線與材料的相互作用來確定其元素組成。X射線熒光光譜儀適用于固體、液體和粉末，并且在大多數情況下是非破壞性的。X射線熒光光譜儀是一種現場篩選方法，不會消除對傳統實驗室分析的需求。隨著這項技術的應用，隨機樣本被帶到實驗室重新校準X射線熒光光譜儀傳感器并確認結果是準確的。

　　X射線熒光光譜儀通常用以下一種或幾種方法：

　　1、時間延遲法：由產生熒光的原理可知，熒光從產生到*消失，它有一個時間過程（即從高能級的非穩態躍遷到低能級的亞穩態或穩態的時間）。不同的物質，這個時間的長短是不一樣的，它們從幾微秒到幾分鐘不等。我們可以給探測器的快門一個延遲時間，讓激發光*消失后開始對熒光采樣。在一些特殊條件，如用反射探針測固體、液體的熒光時，光路無法90°布置，這時需要通過延遲采樣時間來分離出熒光。

　　2、90°布置法：激發光和探測器90°方向布置。由于熒光沒有方向性，它向四周發射，因此可以把探測器放在與激發光成90°的位置來接收熒光。大部分的熒光測量裝置都采用此方法（同時常常配上其它方法）。

　　3、濾波法：從熒光產生原理可知，熒光的波長大于激發光的波長。我們在探測器前面放一個長通濾波片，它的截至波長稍大于激發光波長。這樣，只有熒光才能被探測器采集。該法的另一個好處是可以濾掉一部分雜散光，但是它也可能濾掉一部分熒光。

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