X射線熒光光譜儀可分為具有高分辨率的光譜儀，分辨率較低的便攜式光譜儀，和介于兩者之間的臺式光譜儀。高分辨率光譜儀通常采用液氮冷卻的半導體探測器，如Si（Li）和高純鍺探測器等。低分辨便攜式光譜儀常常采用正比計數器或閃爍計數器為探測器，它們不需要液氮冷卻。近年來，采用電致冷的半導體探測器，高分辨率譜儀已不用液氮冷卻。同步輻射光激發X射線熒光光譜、質子激發X射線熒光光譜、放射性同位素激發X射線熒光光譜、全反射X射線熒光光譜、微區X射線熒光光譜等較多采用的是能量色散方式。

 

　　X射線熒光光譜儀的特點：

　　1、X射線熒光光譜儀具有優異的測量結果：

　　X射線熒光光譜儀于利用高達4千瓦的電源對樣品進行勵磁，確保每種元素都可以達到大的強度。由于X射線陽極管、樣品表面與X射線探測器之間的緊密耦合，它們之間的距離達到小化，并且可能獲得蕞高的計數率。此外，每種重要元素都可以由單獨的通道進行測量。這些先進的功能促成了好的計數統計和優異的結果。
 

　　2、金屬生產過程控制中的準確度和精密度：

　　在短時間內得出結果、實現好的準確度和*的精密度，是成功過程控制的主要需求。X射線熒光光譜儀將其已經驗證的單元素通道與新的多元素通道?融合到自己的設計之中。借助4千瓦高勵磁電源和元素通道，X射線熒光光譜儀能夠為金屬生產中的必需元素提供*精密度，同時其創新的多元素通道可以同步分析其他元素指紋，所有這些都將在40秒內完成。相比傳統的同步XRF光譜儀，這一優勢可以為鋼鐵和有色金屬生產的過程控制帶來必要的益處。