1、兩者的測試原理不同：直讀光譜儀是用電弧（火花）的高溫使樣品中各種元素從固態直接氣化并被激發而射出各元素的特征波長，經光柵分光后，成為按波長排列的“光譜"，這些元素的特征光譜線通過出射狹縫，射入各自的光電倍增管，光信號變成電信號，經儀器的控制測量系統將電信號積分并進行模/數轉換，然后由計算機處理，并計算出各元素的百分含量。X熒光光譜儀用X射線照射試樣，試樣可以被激發出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析。由于X光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，X射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型。

2、直讀光譜儀要求試樣具有導電性，且只能是固體樣品，簡單地說就是直讀只能分析金屬固體樣品中的元素。而X射線熒光光譜儀對樣品要求不高，可以分析粉末樣品、固體樣品、液體樣品，不需要樣品具有導電性，金屬及非金屬樣品均可分析，XRF還可量測鹵素，用于測試RoHS中管制的元素分析，可以看出X熒光光譜儀適用范圍更廣，適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業。

3、直讀激發測試完樣品之后會破壞樣品表面，X熒光是無損檢測，測試完成后樣品不會發生變化。