氬氣作為光譜儀重要的分析條件，對檢測正常使用，結果準確有至關重要的作用，一般要求99.999%純度的氬氣，但在現實中，大多氬氣廠家都沒有檢測這么高純度的設備，全憑經驗，氬氣廠家參差不齊，標注為5個9的氬氣，實際使用可能達不到，我們自己也只能靠檢測過程的各種特征現象分析氬氣是否純度足夠。

1.普通氬氣純度一般不會高于四個9，氬氣的主要功能是對鎢電極保護作用，一般光譜激發時由于瞬間電壓高、電流大、激發溫度都很高，如果氬氣純度不夠，對鎢電極就會損傷，而且一些高溶點的物質如硅等就激發不充分，在金屬表面就會有很多很多白點，造成檢測數據不準。

2.普氬還是不建議使用，幾個月后就會激發不了，但如果氬氣凈化器是新的，還能多撐一段時間，不過普氬里雜質較多，對光路尤其是透鏡的損壞較大。

3.氬氣不純，影響大的是透鏡，導致透鏡污染，影響直讀光譜儀分析譜線；再者激發時聲音表現無力，激發點不充分燃燒，直接影響分析數據，所得數據偏離實際值，分析不準確。

4.高純氬作為火花室保護氣的主體，其純度高才會形成需要的“聚能放電”否則就是所謂的“擴散放電”引起不良的激發。樣品的組織結構越復雜，對氬氣的純度要求就越嚴格。

5.直讀光譜儀使用的氬氣純度要求≥99.996%，其純度不夠的氬氣將導致以下后果：
（1）校正系數超出要求范圍，標準化系數偏高。
（2）激發光源不激發及跳閘。
（3）激發時擴散放電，激發點呈白色（白點），強度降低，樣品表面無侵蝕，分析數據不準確。
（4）直讀光譜儀分析數據不穩定，特別是分析波長較低的元素如：C、P、S等，還有一些高合金鑄件、鑄鋁、鑄鐵、純金屬等。